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臺階儀

儀器型號：KLA Tencor ALPHA STEP IQ

購置年月：2012年7月

儀器簡介：

Alpha-Step IQ是先進的探針接觸式表面輪廓儀(又叫：臺階儀或膜厚儀)，集高測量精度、多功能性和經(jīng)濟性于一體，是試行生產(chǎn)線及材料分析的理想選擇。在其8 ？（1δ）或0.1%的臺階高度重復(fù)性以及亞埃級別的分辨率的保證下，Alpha-Step IQ能夠為工藝過程的分析和監(jiān)控提供最佳的重復(fù)性和性能。計算機化的系統(tǒng)更提供了聯(lián)網(wǎng)和USB通訊的強大功能。Alpha-Step IQ能幫助您更及時地了解工藝狀況以及提高產(chǎn)量。

應(yīng)用范圍：

該儀器提供了一整套完備的二維表面形貌分析方法，適用于各種表面，包括：半導(dǎo)體硅片、MEMS、微電子陶瓷、SIMS、光學(xué)表面和平面顯示。Alpha-Step IQ另外還提供了豐富的選件，如：更高的垂直測量范圍、用于樣品定位的更大倍率的攝象頭機、集成的數(shù)據(jù)處理軟件和支持多語言顯示等等。

技術(shù)參數(shù)：

1. 可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；

2. 可分析表面粗糙度；

3. 具有7.5？ (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。