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精密勻膠機

儀器型號：美國Smart Coater 100

購置年月：2012年6月

儀器簡介：

SmartCoater？精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的晶圓底物旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定和極高的可重復性。

應用范圍：

   廣泛的應用于半導體生產(chǎn)，MEMS生產(chǎn)，薄膜技術(shù)，傳感器以及高級封裝技術(shù)之中。

技術(shù)參數(shù)：

1. 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

2. 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

3. 轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm(可選更高速)

4. 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

5. 馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1%

6. 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復性<1rpm

7. 工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

10. 設(shè)備尺寸32cm W×44cm D×30cm H